| Автор | Kendall, D L |
| Дата выпуска | 1979 |
| Формат | application.pdf |
| Издатель | Annual Reviews |
| Копирайт | Annual Reviews |
| Название | Vertical Etching of Silicon at very High Aspect Ratios |
| DOI | 10.1146/annurev.ms.09.080179.002105 |
| Print ISSN | 0084-6600 |
| Журнал | Annual Review of Materials Science |
| Том | 9 |
| Первая страница | 373 |
| Последняя страница | 403 |
