| Автор | Young, R T |
| Автор | Wood, R F |
| Дата выпуска | 1982 |
| Формат | application.pdf |
| Издатель | Annual Reviews |
| Копирайт | Annual Reviews |
| Название | Laser Processing of Semiconductor Materials |
| DOI | 10.1146/annurev.ms.12.080182.001543 |
| Print ISSN | 0084-6600 |
| Журнал | Annual Review of Materials Science |
| Том | 12 |
| Первая страница | 323 |
| Последняя страница | 350 |
