| Автор | Harper, J M E |
| Автор | Cuomo, J J |
| Дата выпуска | 1983 |
| Формат | application.pdf |
| Издатель | Annual Reviews |
| Копирайт | Annual Reviews |
| Название | Material Processing with Broad-Beam Ion Sources |
| DOI | 10.1146/annurev.ms.13.080183.002213 |
| Print ISSN | 0084-6600 |
| Журнал | Annual Review of Materials Science |
| Том | 13 |
| Первая страница | 413 |
| Последняя страница | 439 |
