| Автор | Reichmanis, E |
| Автор | Novembre, A E |
| Дата выпуска | 1993 |
| Формат | application.pdf |
| Издатель | Annual Reviews |
| Копирайт | Annual Reviews |
| Название | Lithographic Resist Materials Chemistry |
| DOI | 10.1146/annurev.ms.23.080193.000303 |
| Print ISSN | 0084-6600 |
| Журнал | Annual Review of Materials Science |
| Том | 23 |
| Первая страница | 11 |
| Последняя страница | 43 |
