| Автор | Itoh, N |
| Автор | Kanasaki, J |
| Автор | Okano, A |
| Автор | Nakai, Y |
| Дата выпуска | 1995 |
| Формат | application.pdf |
| Издатель | Annual Reviews |
| Копирайт | Annual Reviews |
| Название | Laser-Beam Interaction with Defects on Semiconductor Surfaces: An Approach to Generation of Defect-Free Surfaces |
| DOI | 10.1146/annurev.ms.25.080195.000525 |
| Print ISSN | 0084-6600 |
| Журнал | Annual Review of Materials Science |
| Том | 25 |
| Первая страница | 97 |
| Последняя страница | 127 |
