| Автор | Osgood, R M |
| Дата выпуска | 1983 |
| Формат | application.pdf |
| Издатель | Annual Reviews |
| Копирайт | Annual Reviews |
| Название | Laser Microchemistry and its Application to Electron-Device Fabrication |
| DOI | 10.1146/annurev.pc.34.100183.000453 |
| Print ISSN | 0066-426X |
| Журнал | Annual Review of Physical Chemistry |
| Том | 34 |
| Первая страница | 77 |
| Последняя страница | 101 |
