Автор |
Eijkel, Jan C. T. |
Автор |
Bomer, Johan |
Автор |
Tas, Niels R. |
Автор |
van den Berg, Albert |
Дата выпуска |
2004 |
dc.description |
A simple method using spin-deposition and sacrificial layer etching is used to fabricate all-polyimide nanochannels (100 and 500 nm channel height). Channels are characterized using spontaneous capillary filling with water, ethanol and isopropanol, and with electroosmotic flow. The channels can be produced with simple cleanroom equipment, namely spinning and metal deposition facilities. Polyimide is an excellent material for micro- and nanofluidic channels due to its favourable electrical and mechanical properties and its biocompatibility. |
Формат |
application.pdf |
Издатель |
Royal Society of Chemistry |
Название |
1-D Nanochannels fabricated in polyimide |
Тип |
research-article |
DOI |
10.1039/b315859d |
Electronic ISSN |
1473-0189 |
Print ISSN |
1473-0197 |
Журнал |
Lab on a Chip |
Том |
4 |
Первая страница |
161 |
Последняя страница |
163 |
Аффилиация |
Eijkel Jan C. T.; MESA+ Research Institute, University of Twente |
Аффилиация |
Bomer Johan; MESA+ Research Institute, University of Twente |
Аффилиация |
Tas Niels R.; MESA+ Research Institute, University of Twente |
Аффилиация |
van den Berg Albert; MESA+ Research Institute, University of Twente |
Выпуск |
3 |
Библиографическая ссылка |
A. Hibara, T. Saito, H. B. Kim, M. Tokeshi, T. Ooi, M. Nakao, T. Kitamori, Anal. Chem., 2002, 74, 6170 |
Библиографическая ссылка |
N. R. Tas, P. Mela, T. Kramer, J. W. Berenschot, A. van den Berg, Nano Lett., 2003, 3, 1537 |
Библиографическая ссылка |
D. Burgreen, F. R. Nakache, J. Phys. Chem., 1964, 68, 1084 |
Библиографическая ссылка |
C. L. Rice, R. Whitehead, J. Phys. Chem., 1965, 69, 4017 |
Библиографическая ссылка |
J. Lyklema, J. Phys.: Condens. Matter., 2001, 13, 5027 |
Библиографическая ссылка |
J. Lyklema, M. Minor, Colloids Surf., A: Physicochem. Eng. Aspects, 1998, 140, 33 |
Библиографическая ссылка |
H. Cao, Z. N. Yu, J. Wang, J. O. Tegenfeldt, R. H. Austin, E. Chen, W. Wu, S. Y. Chou, Appl. Phys. Lett., 2002, 81, 174 |
Библиографическая ссылка |
M. Foquet, K. Korlach, W. Zipfel, W. W. Webb, H. G. Craighead, Anal. Chem., 2002, 74, 1415 |
Библиографическая ссылка |
S. W. Turner, A. M. Perez, A. Lopez, H. G. Craighead, J. Vac. Sci. Technol., B, 1998, 16, 3835 |
Библиографическая ссылка |
X. H. N. Xu, E. S. Yeung, Science, 1998, 281, 1650 |
Библиографическая ссылка |
J. Haneveld, H. Jansen, E. Berenschot, N. Tas, M. Elwenspoek, J. Micromech. Microeng., 2003, 13, S62 |
Библиографическая ссылка |
J. Han, H. G. Craighead, Science, 2000, 288, 1026 |
Библиографическая ссылка |
S. A. Gajar, M. W. Geis, J. Electrochem. Soc., 139, 2833 |
Библиографическая ссылка |
M. B. Stern, M. W. Geis, J. E. Curtin, J. Vac. Sci. Technol., B, 1997, 15, 2887 |
Библиографическая ссылка |
C. K. Harnett, G. W. Coates, H. G. Craighead, J. Vac. Sci. Technol., B, 2001, 19, 2842 |
Библиографическая ссылка |
W. J. Nam, S. Bae, A. K. Kalkan, S. J. Fonash, J. Vac. Sci. Technol., A, 2001, 19, 1229 |
Библиографическая ссылка |
V. Studer, A. Pepin, Y. Chen, Appl. Phys. Lett., 2002, 80, 3614 |
Библиографическая ссылка |
B. Ilic, D. Czaplewski, M. Zalalutdinov, B. Schmidt, H. G. Craighead, J. Vac. Sci. Technol., B, 2002, 20, 2459 |
Библиографическая ссылка |
N. R. Tas, J. W. Berenschot, P. Mela, H. V. Jansen, M. Elwenspoek, A. van den Berg, Nano Lett., 2002, 2, 1031 |
Библиографическая ссылка |
R. R. Thomas, L. E. Stephans, J. Colloid Interface Sci., 2002, 251, 339 |
Библиографическая ссылка |
Z. L. Wang, A. Furuya, K. Yasuda, H. Ikeda, T. Baba, M. Hagiwara, S. Toki, S. Shingubara, H. Kubota, T. Ohmi, J. Adhesion Sci. Technol., 2002, 16, 1027 |
Библиографическая ссылка |
M. Hasegawa, K. Horie, Progr. Polym. Sci., 2001, 26, 259 |
Библиографическая ссылка |
I. K. Glasgow, D. J. Beebe, V. E. White, Sens. Mater., 1999, 11, 269 |
Библиографическая ссылка |
S. Metz, R. Holzer, Ph. Renaud, Lab Chip, 2001, 1, 29 |
Библиографическая ссылка |
S. Metz, C. Trautmann, A. Bertsch, Ph. Renaud, J. Micromech. Microeng., 2004, 14, 324 |
Библиографическая ссылка |
X. H. Huang, M. J. Gordon, R. N. Zare, Anal. Chem., 1988, 60, 1837 |
Библиографическая ссылка |
E. W. Washburn, Phys. Rev., 1921, 17, 273 |
Библиографическая ссылка |
K. Gotoh, Y. Nakata, M. Tagawa, M. Tagawa, Colloid Surf., A, 2003, 224, 165 |
Библиографическая ссылка |
S. H. Kim, D. W. Lee, K. H. Chung, J. K. Park, J. Y. Jaung, S. H. Jeong, J. Appl. Polym. Sci., 2002, 86, 812 |
Библиографическая ссылка |
F-Y. Tsai, E. L. Alfonso, D. R. Harding, S. H. Chen, J. Phys. D: Appl. Phys., 2001, 34, 3011 |