Contrôle et réalisation de revêtements multidiélectriques présentant des caractéristiques spectrales imposées
E Pelletier; P Giacomo; E Pelletier; Laboratoire Aimé Cotton du C. N. R. S., F - 91-Orsay; P Giacomo; Laboratoire Aimé Cotton du C. N. R. S., F - 91-Orsay
Журнал:
Nouvelle Revue d'Optique Appliquee
Дата:
1972-05-01
Аннотация:
La méthode de « synthèse » déjà décrite permet de calculer des combinaisons de couches diélectriques présentant des propriétés optiques imposées à l'avance. Nous étudions ici les problèmes que pose la réalisation expérimentale de tels filtres (par dépôt sous vide). Le problème principal est celui du contrôle précis des épaisseurs des couches pendant le dépôt. Un contrôle optique direct étant nécessaire, nous étendons l'emploi du « maximètre » au contrôle de couches d'épaisseurs optiques inégales. La réalisation expérimentale nécessite la préparation d'un « programme de contrôle » spécifique pour chaque type de filtre. On montre qu'une connaissance très exacte des indices de réfraction des matériaux déposés est nécessaire et comment on peut déduire leurs valeurs d'une étude systématique des résultats expérimentaux. La simulation de l'expérience par le calcul permet d'analyser les causes d'échec: erreurs systématiques sur les épaisseurs induites par des valeurs inexactes des indices de réfraction, effets cumulatifs des erreurs accidentelles. L'étude pas à pas de la réalisation permet d'obtenir des résultats expérimentaux en excellent accord avec les calculs. Les écarts entre les valeurs calculées et mesurées de la transmission dépassent rarement 0,01 dans le visible.
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