| Автор | Bansal, Tushar |
| Автор | Chang, Meng-Ping |
| Автор | Maharbiz, Michel M. |
| Дата выпуска | 2007 |
| dc.description | We report a class of â wetâ MEMS elastomerâ metal electrostatic actuators which can actuate in air, oil or water environments with no external fluidic connections, has actuation voltages lower than 15 V and is compatible with widespread PDMS microfluidics. |
| Формат | application.pdf |
| Издатель | Royal Society of Chemistry |
| Название | A class of low voltage, elastomer–metal ‘wet’ actuators for use in high-density microfluidics |
| Тип | research-article |
| DOI | 10.1039/b614419e |
| Electronic ISSN | 1473-0189 |
| Print ISSN | 1473-0197 |
| Журнал | Lab on a Chip |
| Том | 7 |
| Первая страница | 164 |
| Последняя страница | 166 |
| Аффилиация | BansalBoth of these authors contributed equally to this work. Tushar; Department of Electrical Engineering and Computer Science, University of Michigan |
| Аффилиация | Chang Meng-Ping; Department of Mechanical Engineering, University of Michigan |
| Аффилиация | Maharbiz Michel M.; Department of Electrical Engineering and Computer Science, University of Michigan; Department of Biomedical Engineering, University of Michigan |
| Выпуск | 2 |
| Библиографическая ссылка | Studer, J. Appl. Phys., 2004, 95, 393 |
| Библиографическая ссылка | Manz, et al., J. Chromatogr., A, 1992, 593, 253 |
| Библиографическая ссылка | Loverich, Lab Chip, 2006, 6, 1147 |
| Библиографическая ссылка | Tamanaha, J. Micromech. Microeng., 2002, 12, 7 |
| Библиографическая ссылка | Unger, Science, 2000, 288, 113 |
| Библиографическая ссылка | Grover, Sens. Actuators, B, 2003, 89, 315 |
| Библиографическая ссылка | Grover, Lab Chip, 2006, 5, 623 |
| Библиографическая ссылка | Thorsen, Science, 2002, 298, 580 |
| Библиографическая ссылка | Cellar, Lab Chip, 2006, 6, 1205 |
| Библиографическая ссылка | Xie, Lab Chip, 2004, 4, 495 |
| Библиографическая ссылка | Rollier, J. Micromech. Microeng., 2006, 16, 794 |
| Библиографическая ссылка | K. R. Zavadil , M. A.Rising and P. C.Galambos, Proc. Electrochemical Society Microfabricated Systems and MEMS VI, SeriesPV2002–6, Pennington, NJ, 2002, pp. 44–152 |
| Библиографическая ссылка | Judy, Smart Mater. Struct., 2001, 10, 1115 |
| Библиографическая ссылка | Sounart, J. Microelectromech. Syst., 2005, 14, 125 |
| Библиографическая ссылка | Legrand, Appl. Phys. Lett., 2006, 88 |
| Библиографическая ссылка | W. C. Young , Roark's Formulas for Stress and Strain, McGraw-Hill International Edition, 1989 |
| Библиографическая ссылка | T. Bansal , M. P.Chang and M. M.Maharbiz, Tenth International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences (MicroTAS), Tokyo, Japan, November 2006 |
