Автор |
Bansal, Tushar |
Автор |
Chang, Meng-Ping |
Автор |
Maharbiz, Michel M. |
Дата выпуска |
2007 |
dc.description |
We report a class of â wetâ MEMS elastomerâ metal electrostatic actuators which can actuate in air, oil or water environments with no external fluidic connections, has actuation voltages lower than 15 V and is compatible with widespread PDMS microfluidics. |
Формат |
application.pdf |
Издатель |
Royal Society of Chemistry |
Название |
A class of low voltage, elastomer–metal ‘wet’ actuators for use in high-density microfluidics |
Тип |
research-article |
DOI |
10.1039/b614419e |
Electronic ISSN |
1473-0189 |
Print ISSN |
1473-0197 |
Журнал |
Lab on a Chip |
Том |
7 |
Первая страница |
164 |
Последняя страница |
166 |
Аффилиация |
BansalBoth of these authors contributed equally to this work. Tushar; Department of Electrical Engineering and Computer Science, University of Michigan |
Аффилиация |
Chang Meng-Ping; Department of Mechanical Engineering, University of Michigan |
Аффилиация |
Maharbiz Michel M.; Department of Electrical Engineering and Computer Science, University of Michigan; Department of Biomedical Engineering, University of Michigan |
Выпуск |
2 |
Библиографическая ссылка |
Studer, J. Appl. Phys., 2004, 95, 393 |
Библиографическая ссылка |
Manz, et al., J. Chromatogr., A, 1992, 593, 253 |
Библиографическая ссылка |
Loverich, Lab Chip, 2006, 6, 1147 |
Библиографическая ссылка |
Tamanaha, J. Micromech. Microeng., 2002, 12, 7 |
Библиографическая ссылка |
Unger, Science, 2000, 288, 113 |
Библиографическая ссылка |
Grover, Sens. Actuators, B, 2003, 89, 315 |
Библиографическая ссылка |
Grover, Lab Chip, 2006, 5, 623 |
Библиографическая ссылка |
Thorsen, Science, 2002, 298, 580 |
Библиографическая ссылка |
Cellar, Lab Chip, 2006, 6, 1205 |
Библиографическая ссылка |
Xie, Lab Chip, 2004, 4, 495 |
Библиографическая ссылка |
Rollier, J. Micromech. Microeng., 2006, 16, 794 |
Библиографическая ссылка |
K. R. Zavadil , M. A.Rising and P. C.Galambos, Proc. Electrochemical Society Microfabricated Systems and MEMS VI, SeriesPV2002–6, Pennington, NJ, 2002, pp. 44–152 |
Библиографическая ссылка |
Judy, Smart Mater. Struct., 2001, 10, 1115 |
Библиографическая ссылка |
Sounart, J. Microelectromech. Syst., 2005, 14, 125 |
Библиографическая ссылка |
Legrand, Appl. Phys. Lett., 2006, 88 |
Библиографическая ссылка |
W. C. Young , Roark's Formulas for Stress and Strain, McGraw-Hill International Edition, 1989 |
Библиографическая ссылка |
T. Bansal , M. P.Chang and M. M.Maharbiz, Tenth International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences (MicroTAS), Tokyo, Japan, November 2006 |