| Автор | Fink, D. |
| Автор | Biersack, J. P. |
| Автор | Schoelch, H. P. |
| Автор | Weiser, M. |
| Автор | Kalbitzer, S. |
| Автор | Behar, M. |
| Автор | De Souza, J. P. |
| Автор | Zawislak, F. C. |
| Автор | Mazzone, A. M. |
| Автор | Kranz, H. |
| Дата выпуска | 1989 |
| dc.description | AbstractLow dose implanted lithium depth profiles in preamorphized silicon have been measured in the energy range of 5 keV to 2 MeV by means of three different nuclear reaction techniques and SIMS measurements, and they are compared to theory. Though the agreement is good for the mean projected range, we find systematic deviations for the range straggling.Further, the shapes of lithium depth profiles are studied as a function of the preamorphization dose. Also, the diffusion of li in amorphous Si was measured between – 18 and + 350°C. It is described by D = D <sub>0</sub>·exp(-E<sub>A</sub>/kT), the value of D <sub>0</sub> and E<sub>A</sub> ranging from those for purely interstitial diffusion (D <sub>0</sub> = 2 · 10<sup>−(4±0.5)</sup> cm<sup>2</sup> s<sup>−1</sup> and E<sub>A</sub> = 0.74 ± 0.5 eV) up to higher ones, which describe trap controlled diffusion (D <sub>0</sub> = 3 × 10<sup>+(3±1)</sup> cm<sup>2</sup> s<sup>−1</sup> and E = 1.74 ± 0.1 eV). A gradual transition between those extremes with diffusion time is observed. |
| Формат | application.pdf |
| Издатель | Taylor & Francis Group |
| Копирайт | Copyright Taylor and Francis Group, LLC |
| Название | 5 keV to 2 MeV lithium implantation and diffusion in amorphous silicon |
| Тип | research-article |
| DOI | 10.1080/10420158908230308 |
| Electronic ISSN | 1029-4953 |
| Print ISSN | 1042-0150 |
| Журнал | Radiation Effects and Defects in Solids |
| Том | 108 |
| Первая страница | 185 |
| Последняя страница | 203 |
| Аффилиация | Fink, D.; Hahn-Meitner-Institut Berlin GmbH, Dept. P-4 |
| Аффилиация | Biersack, J. P.; Hahn-Meitner-Institut Berlin GmbH, Dept. P-4 |
| Аффилиация | Schoelch, H. P.; Max-Planck-Institut für Kernphysik |
| Аффилиация | Weiser, M.; Max-Planck-Institut für Kernphysik |
| Аффилиация | Kalbitzer, S.; Max-Planck-Institut für Kernphysik |
| Аффилиация | Behar, M.; Instituto de Física, Universidade Federal do Rio Grande do Sul |
| Аффилиация | De Souza, J. P.; Instituto de Física, Universidade Federal do Rio Grande do Sul |
| Аффилиация | Zawislak, F. C.; Instituto de Física, Universidade Federal do Rio Grande do Sul |
| Аффилиация | Mazzone, A. M.; CNR-Instituto Lamel |
| Аффилиация | Kranz, H.; Fraunhofer-Institut für Festkörpertechnologie |
| Выпуск | 2-4 |
| Библиографическая ссылка | Fichtner, P. F. P., Behar, M., Livi, R., Olivieri, C. A., deSouza, J. P., Zawislak, F. C., Fink, D. and Biersack, J. P. 1986. Nucl. Instr. Meth., B15: 58 |
| Библиографическая ссылка | Posselt, M. and Scorupa, W. 1980. Nucl. Instr. Meth., 178: 523 |
| Библиографическая ссылка | Ziegler, J. F., Biersack, J. P. and Littmark, U. 1985. The Stopping and Range of Ions in Solids, Edited by: Ziegler, J. F. Vol. 1, New York: Pergamon Press. |
| Библиографическая ссылка | Lindhard, J. and Scharff, M. 1961. Phys. Rev., 124: 128 |
| Библиографическая ссылка | Bethe, H. A. 1932. Z. Phys. 1, 76: 293 |
| Библиографическая ссылка | Fink, D., Biersack, J. P., Städele, M. and Cheng, V. K. 1987. Radiation Eff., 104: 1 |
| Библиографическая ссылка | Behar, M., Weiser, M., Kalbitzer, S., Fink, D., Biersack, J. P. and Grande, L. P. 1988. Nucl. Instr. Meth., in print |
| Библиографическая ссылка | Weiser, M., Behar, M., Kalbitzer, S., Fink, D., Oberschachtsiek, P. and Frech, G. 1987. Nucl. Instr. Meth., B29: 578 |
| Библиографическая ссылка | Tjan, K. 1985. Berlin: Free University. Thesis |
| Библиографическая ссылка | Tjan, K., Fink, D., Biersack, J. P. and Städele, M. 1986. Nucl. Instr. Meth., B15: 54 |
| Библиографическая ссылка | Fink, D., Tjan, K., Biersack, J. P., Wang, Lihong, Yunru, M. and Masseli, K. 1988. Radiation Eff., in print |
| Библиографическая ссылка | Grande, P. 1988. to be published |
| Библиографическая ссылка | Fink, D., Biersack, J. P., Chen, J. T., Städele, M., Tjan, K., Behar, M., Olivieri, C. A. and Zawislak, F. C. 1983. J. Appl. Phys., 58(2): 668 |
| Библиографическая ссылка | Guimaraes, R. B., Behar, M., Livi, R. P., de Souza, J. P., Amaral, L., Zawislak, F. C., Fink, D. and Biersack, J. P. 1987. Nucl. Instr. Meth., B19/20: 822 |
| Библиографическая ссылка | Guimaraes, R. B., Behar, M., Livi, R. P., deSouza, J. P., Zawislak, F. C., Fink, D. and Biersack, J. P. 1986. J. Appl. Phys., 60(4): 1322 in print |
| Библиографическая ссылка | Guimaraes, R. B., Amaral, L., Behar, M., Fichtner, P. F. P., Zawislak, F. C. and Fink, D. 1988. J. Appl. Phys., to be published |
| Библиографическая ссылка | Comas, J. and Wilson, R. G. 1980. J. Appl. Phys., 51(7): 3697 |
| Библиографическая ссылка | Wilson, R. G. 1980. Radiation Eff., 46: 141 |
| Библиографическая ссылка | Emmoth, B., Braun, M. and Palenius, H. P. 1976. J. Nucl. Mater., 63: 482 |
| Библиографическая ссылка | Ziegler, J. F. 1987. The Stopping Power and Ranges of Ions in Matter, Edited by: Ziegler, J. F. Vol. 5, p. 188New York: Pergamon. literature cited therein |
| Библиографическая ссылка | Wach, W. and Wittmaack, K. 1983. Phys. Rev., B27: 3528 |
| Библиографическая ссылка | Schoelch, H. P. 1986. University Heidelberg. Thesis |
| Библиографическая ссылка | Fink, D. 1974. Berlin: Free University. Thesis, Bibl.-Nr. HO3, 0833 |
| Библиографическая ссылка | Biersack, J. P., Fink, D., Henkelmann, R. and Müller, K. 1978. Nucl. Instr. Meth., 149: 93 |
| Библиографическая ссылка | Müller, K. 1979. Technical University Munich. Thesis |
| Библиографическая ссылка | Ziegler, J. F. personal communication |
| Библиографическая ссылка | Biersack, J. P. and Haggmark, L. G. 1980. Nucl. Instr. Meth., 174: 257 |
| Библиографическая ссылка | Biersack, J. P. 1987. Ion Beam Modification of Insulators, Edited by: Mazzoldi, I. P. and Arnold, G. W. Amsterdam: Elsevier Sci. Publ. Co.. chapter |
| Библиографическая ссылка | Wong, H., Dang, L., Cheung, N. W., Chu, P. K., Strathman, E. M. and Strathman, M. D. 1987. Nuclear Instr. Meth., B21: 447 |
| Библиографическая ссылка | Feretti, R., Fahrner, W. R. and Bräuning, D. Dec. 1979. Transactions on Nuclear Science, Vol. NS-26(No. 6) |
| Библиографическая ссылка | Fahrner, W. R. 1985. personal communication |
| Библиографическая ссылка | Mazzone, A. M. 1987. Phil. Mag. Letters, 5: 235 |
| Библиографическая ссылка | Spear, W. E., LeComber, P. G., Kalbitzer, S. and Müller, G. 1979. Phil. Mag., B39: 159 |
| Библиографическая ссылка | Beyer, W. and Fischer, R. 1977. Appl. Phys. Lett., 31: 850 |
| Библиографическая ссылка | Reinelt, M. and Kalbitzer, S. 1981. Journ. d. Phys. C4, 42: 843 |
| Библиографическая ссылка | Stolz, W. 1982. “Diplomarbeit”. p. 444MPI für Kernphysik Heidelberg. unpublished |
| Библиографическая ссылка | Pell, E. M. 1960. Phys. Rev., 119: 1014 |
| Библиографическая ссылка | Oberschachtsiek, P. 1986. “Diplomarbeit”. MPI für Kernphysik Heidelberg. unpublished |
| Библиографическая ссылка | Brandt, W. and Kitagawa, M. 1982. Phys. Rev., B25: 5631 |
| Библиографическая ссылка | Fink, D. 1979–82. unpublished results |
| Библиографическая ссылка | Biersack, J. P. and Ziegler, J. F. 1982. “Springer Series in Electrophysics”. In Ion Implantation Techniques, Edited by: Ryssel, M. and Glawisching, H. Vol. 10, pp. 122–156. Berlin, , Germany: Springer. |
| Библиографическая ссылка | Behar, M., Fichtner, P. F. P., Olivieri, C. A., deSouza, J. P., Zawislak, F. C., Biersack, J. P., Fink, D. and Städele, M. 1985. Radiation Eff., 90: 103 See, e.g. |
| Библиографическая ссылка | Fink, D., Biersack, J. P., Carstanjen, H. D., Jahnel, F., Müller, K., Ryssel, H. and Osei, A. 1983. Radiation Eff., 77: 11 and references cited therein |
| Библиографическая ссылка | Sanchez, P. F., Fink, D., Fichtner, P. F. and Biersack, J. P. 1987. Nucl. Instr. Meth. B, 19/20: 28 |
| Библиографическая ссылка | Fink, D., Biersack, J. P., Sanchez, P. F. and Fichtner, P. F. 1987. Radiation Eff., 103: 89 |
| Библиографическая ссылка | Biersack, J. P. and Fink, D. 1974. Applications of Ion Beams to Metals, Edited by: Picraux, S. T., Eer Nisse, E. P. and Vook, F. L. p. 307New York: Plenum Publ. Corp.. |
