Мобильная версия

Доступно журналов:

3 288

Доступно статей:

3 891 637

 

Скрыть метаданые

Автор Mehregany, Mehran
Автор Zorman, Christian A.
Дата выпуска 2001
dc.description The rapid expansion of microelectromechanical systems (MEMS) into new application areas is due in large part to the development of surface-micromachining techniques that allow the fabrication of a wide variety of MEMS devices with structural components that can execute motion in at least one direction.
Формат application.pdf
Издатель Cambridge University Press
Копирайт Copyright © Materials Research Society 2001
Тема Technical Feature
Название Surface Micromachining: A Brief Introduction
Тип research-article
DOI 10.1557/mrs2001.61
Electronic ISSN 1938-1425
Print ISSN 0883-7694
Журнал MRS Bulletin
Том 26
Первая страница 289
Последняя страница 290
Выпуск 4

Скрыть метаданые