Microbolomètres YBaCuO suspendus sur substrats de Si ou SIMOX micro-usinés*
Méchin, L.; Bloyet, D.; Villégier, J.-C.; Méchin L.; DRFMC / SPSMS / LCP - CEA Grenoble, 38054 Grenoble Cedex 9, France; Bloyet D.; GREYC (UPRES A 6072) - ISMRA, 6 Bd Mal Juin, 14050 Caen Cedex, France; Villégier J.-C.; DRFMC / SPSMS / LCP - CEA Grenoble, 38054 Grenoble Cedex 9, France
Журнал:
The European Physical Journal Applied Physics
Дата:
1998
Аннотация:
Résumé. L'amélioration des performances d'un bolomètre est obtenue en isolant thermiquement sa partie sensible. Les résultats que nous avons mesurés dans le domaine de longueur d'onde 3-5 µm sur une membrane suspendue à base de couches minces d'YBaCuO, de dimensions optimisées et sans couche absorbante, sont au niveau des meilleurs publiés. Cependant, pour satisfaire aux besoins des observations spatiales, ces microbolomètres devront être recouverts d'un matériau absorbant adapté pour fonctionner aux longueurs d'onde supérieures à 20 µm. Afin de compenser l'augmentation de capacité calorifique apportée par la couche absorbante, et donc l'accroissement indésirable du temps de réponse, nous proposons d'ajouter simultanément à la membrane une couche de conductivité thermique plus élevée.
378.6Кб