Автор |
Fink, D. |
Автор |
Wang, L. |
Автор |
Biersack, J. P. |
Автор |
Jahnel, F. |
Дата выпуска |
1990 |
dc.description |
AbstractBoron was implanted into several solids in the dose regime 10<sup>14</sup> to 10<sup>16</sup> ions/cm<sup>2</sup> and at energies between some 10 keV and some MeV. Measurements of the corresponding depth distributions were performed by means of the <sup>10</sup>B(n, α<sub>0</sub>)<sup>7</sup>Li(gnd) and <sup>10</sup>B(n, α<sub>1</sub>)<sup>7</sup>Li*(1st) nuclear reaction techniques with thermal neutrons, and by SIMS. The results are compared to theoretical predictions. |
Формат |
application.pdf |
Издатель |
Taylor & Francis Group |
Копирайт |
Copyright Taylor and Francis Group, LLC |
Тема |
Boron implantation profiles |
Тема |
neutron depth profiling |
Тема |
ranges |
Тема |
straggling |
Название |
30 keV to 2 MeV Boron implantation profiles in solids |
Тип |
research-article |
DOI |
10.1080/10420159008220558 |
Electronic ISSN |
1029-4953 |
Print ISSN |
1042-0150 |
Журнал |
Radiation Effects and Defects in Solids |
Том |
115 |
Первая страница |
93 |
Последняя страница |
112 |
Аффилиация |
Fink, D.; Hahn-Meitner-Inst. |
Аффилиация |
Wang, L.; Hahn-Meitner-Inst.; On leave from Institute of Semiconductors, Academia Sinica |
Аффилиация |
Biersack, J. P.; Hahn-Meitner-Inst. |
Аффилиация |
Jahnel, F.; Institut für Radiochemie, TU München; <sup>d</sup> HL PL 44 Siemens AG., Otto Hahn Ring 6, D-8000, München, 83, Germany |
Выпуск |
1-3 |
Библиографическая ссылка |
Fink, D., Biersack, J. P., Städele, M. and Cheng, V. K. 1987. Radiation Eff., Vol. 104: 1 |
Библиографическая ссылка |
Fink, D. 1988. Radiation Eff., 106: 231 |
Библиографическая ссылка |
Fink, D., Tjan, K., Biersack, J. P., Wang, L. and Ma, Y. 1989. Radiation Effects and Defects in Solids, 108: 27 and references therein |
Библиографическая ссылка |
Fink, D., Tjan, K. and Wang, L. 1988. Radiation Effects and Defects in Solids, 114: 21 |
Библиографическая ссылка |
Fink, D., Biersack, J. P., H.-Schölch, P., Weiser, M., Kalbitzer, S. M., Behar, J. P., de Souza, Zawislak, F. C., Mazzone, A. M. and Kranz, H. 1989. Radiation Effects and Defects in Solids, 108: 185 |
Библиографическая ссылка |
Fink, D., Biersack, J. P., Müller, M., Wang, L., Cheng, V. K., Kassing, R., Maβeli, K., Weiser, M. and Kalbitzer, S. 1989. Mat. Sci. Engin., B2: 49 |
Библиографическая ссылка |
Guimarães, R. B., Amaral, L., Behar, M., Fink, D. and Zawislak, F. C. 1988. J. Mat. Res., 3: 1422 |
Библиографическая ссылка |
Guimarães, R. B., Amaral, L., Behar, M., Fichtner, P. F. P., Zawislak, F. C. and Fink, D. 1988. J. Appl. Phys., 63: 2083 |
Библиографическая ссылка |
Jahnel, F., Ryssel, H., Prinke, G., Hoffmann, K., Müller, K., Biersack, J. and Henkelmann, R. 1981. Nucl. Instr. Meth., 182/183: 223 |
Библиографическая ссылка |
Ryssel, H., Müller, K., Biersack, J., Krüger, W., Lang, G. and Jahnel, F. 1980. phys. stat. sol. (a), 57: 619 |
Библиографическая ссылка |
Jahnel, F. 1982. thesis Technische Universität München |
Библиографическая ссылка |
Wang, L. 1990. thesis Free University Berlin |
Библиографическая ссылка |
Biersack, J. P., Fink, D., Henkelmann, R. and Müller, K. 1978. Nucl. Instr. Meth., 149: 93 |
Библиографическая ссылка |
Winterbon, K. B. 1976. Atomic Energy of Canada Ltd. Report (AECL-5536) |
Библиографическая ссылка |
Biersack, J. P. and Haggmark, L. G. 1980. Nucl. Instr. Meth., 174: 257 |
Библиографическая ссылка |
Biersack, J. P. 1987. Ion Beam Modification of Insulators, Edited by: Mazzoldi, P. and Arnoid, G. W. Amsterdam: Elsevier Sci. Publ. Co.. chapter 1 |
Библиографическая ссылка |
Ziegler, J. F. 1983–88. personal communications |
Библиографическая ссылка |
Ziegler, J. F., Biersack, J. P. and Littmark, U. 1985. The Stopping and Range of Ions in Solids, Edited by: Ziegler, J. F. Vol. 1, N. Y.: Pergamon Press. |
Библиографическая ссылка |
Fink, D., Biersack, J. P., Chen, J. T., Städele, M., Tjan, K., Behar, M., Olivieri, C. A. and Zawislak, F. C. 1985. J. Appl. Phys., 58: 668 |
Библиографическая ссылка |
Guimarães, R. B., Behar, M., Livi, R. P., de Souza, J. P., Amaral, L., Zawislak, F. C., Fink, D. and Biersack, J. P. 1987. Nucl. Instr. Meth., B19/20: 882 |
Библиографическая ссылка |
Biersack, J. P. 1987. Nucl. Instr. Meth., B19/20: 32 |
Библиографическая ссылка |
Fink, D., Biersack, J. P., Sanchez, P. F. and Fichtner, P. F. 1987. Radiation Effects, 103: 89 |
Библиографическая ссылка |
Wilson, R. G., Deline, V. R. and Hopkins, C. G. 1982. Appl. Phys. Lett., 41: 929 |
Библиографическая ссылка |
Biersack, J. P. 1988. Nucl. Instr. Meth., B35: 205 |
Библиографическая ссылка |
Guseva, M. I. and Mansurova, A. N. 1973. Rad. Eff., 20: 207 |
Библиографическая ссылка |
Behar, M., Weiser, M., Kalbitzer, S., Fink, D. and Grande, F. L. 1988. Nucl. Instr. Meth., B34: 316 |
Библиографическая ссылка |
Jahnel, F., Ryssel, H., Prinke, G., Hoffmann, K., Müller, K., Biersack, J. and Henkelmann, R. 1981. Nucl. Instr. Meth., 182/183: 223 |
Библиографическая ссылка |
Jahnel, F. and München, TU. 1977. Diplomarbeit |
Библиографическая ссылка |
Ryssel, H., Müller, K., Biersack, J. P., Krüger, W., Lang, G. and Jahnel, F. 1980. phys. Stat. sol. (a), 57: 619 |
Библиографическая ссылка |
Biersack, J. P. 1964. HMI-B37 |
Библиографическая ссылка |
Wiechmann, W. and Biersack, J. P. 1966. Nucleonik, 9, 8: 399 |
Библиографическая ссылка |
Biersack, J. P. 1965–69. unpublished |
Библиографическая ссылка |
Lindhard, J. and Scharff, M. 1961. Phys. Rev. Letters, 124: 128 |
Библиографическая ссылка |
Behar, M., Fichtner, P. F., Olivieri, C. A., de Souza, J. P. and Zawislak, F. C. 1985. Nucl. Instr. Meth., B6: 453 |
Библиографическая ссылка |
Fink, D., Müller, M., Stettner, U., Behar, M., Fichtner, P. F. P., Zawislak, F. C. and Koul, S. 1988. Nucl. Instr. Meth., B32: 150 |